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真空蒸发镀膜设备基本参数
结构形式
设备主要由镀膜室、蒸发系统、真空系统、机架、保护装置及电气控制装置组成。
基本参数
设备的基本参数应符合表1的规定
| 项次 | 参数名称 | 参数数值 | ||
| 1 | 镀膜室尺寸分档,mm | 320*,500*,600,630*,700,800*,900,1000*,1200,1200,1350,1600*,1800,2000*,2200,2500 | ||
| 2 | 真空指标 | 分档 | A | B |
| 极限压力，Pa | ≤5*10-4 | ≤5*10-3 | ||
| 恢复真空抽气时间,min | (从大气压抽至7*10-3Pa)≤15 | (从大气压抽至7*10-2Pa)≤8 | ||
| 升压率,Pa/h | ≤8*10-1 | ≤2 | ||
| 3 | 工件烘烤装置烘烤温度调节范围 | 室温至200度，室温至300度，室温至350度，室温至400度 | ||
| 4 | 有效加热区加热均匀度 | ≤5% | ||
